光伏電池的生產(chǎn)過程中，擴散爐的相關部件使用頻繁，導致設備老化，經(jīng)常出現(xiàn)故障。擴散后硅片擴散爐異常波動，導致生產(chǎn)線擴散環(huán)節(jié)出現(xiàn)很多異常問題，導致PN結質量下降。

為探討擴散爐異常的原因，從溫度、排氣、擴散程序和流量變化四個方面進行了調查分析。確定擴散爐異常是流量計小氮氣流量異常造成的，通過更換流量計，生產(chǎn)過程恢復正常。

1.溫度調查

分析擴散爐是否因設定溫度與實際溫度相差較大而異常。擴散爐各溫區(qū)溫度設定為850，實際溫度由輪廓熱電偶檢測。實際溫度與設定溫度的差值在允許范圍內(nèi)，溫差沒有異常。

2.排氣篩選

分析擴散爐異常是不是排氣異常引起的。用風速計測試DF4爐各爐管的排氣。通過測試結果可以看出，各爐管的排氣都在允許的誤差范圍內(nèi)，差別不大。

3.擴散程序

分析爐管性能是否不能滿足擴散程序，導致擴散爐異常。

4.檢查擴散氮氣的流速

分析擴散爐異常是否是小氮氣流量異常造成的。用軟管分別連接DF4-1爐管和DF4-3爐管的氮氣小流量計，將兩根軟管插入盛有水的量杯中，在兩根爐管中設定相同的氮氣小流量，觀察鼓泡情況。

5.檢查擴散氧氣的流量

分析擴散爐異常是否是氧氣流量異常引起的。將DF4-3爐管的氧氣管道連接到DF4-1爐管，通過DF4-3控制DF4-1的氧氣流量，運行HP-M156程序，比較前后的擴散爐。這個試片的平均擴散爐在改變前為65.5，改變后為64.52，與第二個試片相差不大?？梢耘袛郉F4-1的氧氣流量有沒有異常。

對氮氣小管道進行了檢查，檢查結果正常，推測可能是小氮氣流量計有問題。將DF4-1爐管的擴散溫度和流速調整為與其他爐管相同。更換小型氮氣流量計后，試件結果是不是正常的。

為了探討爐管擴散爐異常的原因，可以從溫度、排氣、擴散程序和流量變化四個方面進行了調查分析。確定擴散爐異常是流量計小氮氣流量異常造成的，通過更換流量計，生產(chǎn)過程恢復正常。對于一條24小時生產(chǎn)線來說，定期檢查和維護設備系統(tǒng)的各個部分是非常重要的。當產(chǎn)品質量出現(xiàn)異常時，要在短的時間內(nèi)進行有針對性的調查，提高解決問題的效率。