光伏電池的生產過程中,擴散爐的相關部件使用頻繁,導致設備老化,經常出現(xiàn)故障。擴散后硅片擴散爐異常波動,導致生產線擴散環(huán)節(jié)出現(xiàn)很多異常問題,導致PN結質量下降。為探討擴散爐異常的原因,從溫度、排氣、擴散程...
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擴散爐是半導體生產線前工序的重要工藝設備之一,用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業(yè)的擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝。 擴散爐用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光...
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真空爐,即在爐腔這一特定空間內利用真空系統(tǒng)(由真空泵、真空測量裝置、真空閥門等元件經過精心組裝而成)將爐腔內部分物質排出,使爐腔內壓強小于一個標準大氣壓,爐腔內空間從而實現(xiàn)真空狀態(tài),這就是真空爐。簡介...
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在電爐內,由于電弧放出的高溫使爐料熔化和進行還原反應而生成合金。爐體內由爐襯構成圓桶形爐膛,三相電極呈正三角形垂直布置在爐膛上部。電極下部是主要反應區(qū),電能通過電弧和電阻轉化為熱能。爐膛直徑、深度、電...
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